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自由曲面反射鏡

我們開發(fā)出一種結(jié)合慢刀路徑的光學(xué)探針測(cè)試與補(bǔ)償加工方法，實(shí)現(xiàn)不依賴B軸、大動(dòng)態(tài)范圍、亞微米精度的在線測(cè)試與補(bǔ)償加工，極大的提高了自由曲面加工和檢測(cè)精度，100mm口徑自由曲面的面形精度優(yōu)于PV 0.5μm。